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Das Funktionsprinzip der EMS

Thermisch erzeugte Elektronen werden durch ein Hochspannungsfeld beschleunigt und mittels elektromagnetischer Linsen und Blenden zu einem feinen Strahl mit einem Durchmesser weit unter 1 µm gebündelt. Beim Auftreffen auf eine feste Probe treten eine Vielzahl von Wechselwirkungen auf, u.a. entstehen Sekundär- und Rückstreuelektronen, sowie Röntgenstrahlung. Die charakteristische Röntgenstrahlung ist spezifisch für jedes in der Probe enthaltene chemische Element. Durch verschiedene Detektorsysteme (wellenlängendispersiv, WDS, energiedispersiv/ EDS) kann die Röntgenstrahlung spektral zerlegt und die Intensität der einzelnen Röntgensignale gemessen werden. Der Vergleich mit Standardproben und die mathematische Berechnung aller physikalischen Einflussgrössen liefert die chemische Zusammensetzung der unbekannten Probe im Mikrometerbereich. Durch Messung vieler benachbarter Punkte kann die flächenhafte Verteilung eines Elementes in einer Probe erfasst werden.





 
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