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Die Probe

Grundsätzlich lassen sich alle Festkörper analysieren und mit hoher Auflösung morphologisch darstellen. Sie müssen vakuumstabil sein und dürfen sich durch den Elektronenbeschuss nicht verändern. Zur genauen chemischen Analyse ist eine hochwertige Politur, eine plane Oberfläche und eine exakte geometrische Orientierung notwendig. Elektrisch nicht leitende Proben müssen mit einer leitfähigen Oberflächenbeschichtung versehen werden (Kohlenstoff- oder Metallbedampfung). Damit ist die EMS ein universelles Analysengerät für anorganische und in geeigneten Fällen auch organische Substanzen.


Wechselwirkung Elektronen mit Materie












 
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